連続式クリーン加熱・硬化・乾燥・焼成炉専門メーカー
 本装置は精密な温度制御の状態において、真空雰囲気中でTa・Nb・Moの細管を焼鈍することを目的として使用されます。
 また、本装置の一連操作(真空排気・加熱・昇音・焼鈍・降温・大気圧吸気)は全自動で行われます。
 降温時は炉内に不活性ガスを導入する事で、炉開放時の処理物の酸化を防止します。
 大容量の炉心管により、1サイクルで約50kgを処理する事ができます。

・Ta・Nb・Moの細管焼鈍
基本仕様
装置名 管状形真空アニール炉
型式名 BMV-203
外観寸法(正面=投入側) W750×H1925×D2300
温度条件 1150℃~1200℃ 温度精度±5℃
発熱体 / 回路数 カンタルAFボビンヒーター / 3回路
使用雰囲気 真空雰囲気(真空度1.3×10-4Pa)
降温時不活性ガス(アルゴン)導入
クリーン度 / 酸素濃度 N/A
炉体構造 管状炉心管 石英ガラス 内径80×L2300 1本
設備容量 N2     : 150ℓ/min
アルゴン : 80ℓ/min
電気    : 3相200V 50Hz 25KVA
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