連続式クリーン加熱・硬化・乾燥・焼成炉専門メーカー
 本装置は精密な温度制御の状態において、クリーンなN2雰囲気中でキャリアにセットされた水晶部品を連続的にベーキング処理する事を目的として使用されます。




・水晶部品のベーキング処理
基本仕様
装置名 連続式加熱炉
型式名 FRK-451
外観寸法(正面=投入側) W1000×H1500(タワーライト除く)×D2160
温度条件 110℃~300℃
発熱体 / 回路数 シーズヒーター / 1回路
ベルト幅 450mm
ベルト速度 3~40mm/min
使用雰囲気 N2ガス雰囲気
クリーン度 / 酸素濃度 クラス100 / 酸素濃度200ppm以下
炉体構造 HEPAフィルター搭載・熱風循環方式
設備容量 N2  : 100ℓ/min
水   : 6ℓ/min
電気 : 3相200V 50Hz 10KVA
      単相100V 50Hz 2KVA
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